经上海市人民政府批准，《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）为上海市地方污染物排放标准，现予以发布。2024年5月1日起实施。

本文件规定了半导体行业水污染物排放控制要求、大气污染物排放控制要求、污染物监测要求、达标判定要求、实施与监督等内容。本文件适用于半导体行业现有企业水和大气污染物排放管理，以及新建企业环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图1)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图2)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图3)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图4)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图5)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图6)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图7)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图8)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图9)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图10)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图11)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图12)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图13)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图14)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图15)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图16)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图17)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图18)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图19)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图20)

上海市发布《半导体行业污染物排放标准》(图21)